SEMI F47认证

一、 SEMI F47认证标准概述

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SEMI F47标准由国际半导体产业协会（SEMI）制定，全称《半导体制造设备电压暂降抗扰度规范》。该标准为半导体制造设备提供了统一的电压暂降测试方法与性能要求，旨在确保设备在电网电压波动时能稳定运行，从而有效减少生产中断与产品损失。

 

二、 SEMI F47认证适用范围

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适用对象：所有半导体制造关键设备，包括但不限于光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备、离子注入机、化学机械抛光设备、清洗设备及测试设备等。

不适用范围：设备外部供电系统及不间断电源（UPS）等辅助设备。

 

三、 SEMI F47认证核心概念

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电压暂降定义：供电电压有效值在短时间内降至额定值的90%以下至10%以上，持续时间为0.5个周期至1分钟。

基本抗扰度要求：标准定义了设备需耐受的三类基本测试条件（以50Hz为例）：

电压降至50%，持续 10个周期（200ms）。

电压降至70%，持续 25个周期（500ms）。

电压降至80%，持续 50个周期（1000ms）。

设备分类：

A类：电压暂降期间及之后均能保持正常运行。

B类：电压暂降期间可能短暂停机，但能自动恢复运行。

C类：电压暂降后需要人工干预才能恢复运行。

更高要求：许多先进晶圆厂会提出严于基础标准的“增强版”要求，例如耐受100%电压跌落（0V）1个周期，或耐受80%电压跌落长达500个周期（10秒）。

 

四、SEMI F47认证测试实施关键

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测试设备：必须使用高精度、可编程的电压暂降发生器或高级电网模拟器，以产生纯净、符合标准的测试波形。

测试条件：设备需在额定负载、稳定工艺状态下，在规定的环境条件中进行测试。

测试验证：不仅检查设备是否停机，还需验证其控制功能、数据保护及安全功能在暂降期间是否正常有效。

 

五、SEMI F47认证认证流程

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申请与文件审核：提交技术资料与风险评估报告。

现场审核与测试：认证机构进行现场检查，并执行标准的电压暂降抗扰度测试。

认证决定与发证：基于测试结果评估，颁发符合性证书。

监督审核：证书有效期内需接受定期监督。

 

六、SEMI F47认证机构

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沃证提供SEMI F47全周期认证服务，包括：差距分析、设计评审、测试协调、文件准备及持续合规支持。我们的专家团队深谙半导体设备技术特性，可协助企业高效完成认证，提升产品竞争力。咨询热线：裴经理 133-9221-7586