SEMI F47认证简介

SEMI F47认证简介

SEMI F47认证是半导体行业的重要认证之一，SEMI F47认证最初于2000年发布并于2006年更新，取得了巨大的成功。SEMI F47标准基本上已被所有半导体工具供应商实施，现在全球几乎所有晶圆厂都需要该标准。 SEMI F47认证要求工具不受交流电网上常见的电压骤降的影响。在SEMI F47认证标准的整个生命周期中，避免了数亿美元的晶圆厂和工具停机时间。

SEMI F47认证的作用

SEMI F47认证是电压暂降抗扰度的行业标准。它表示，工业设备必须容忍交流电源上特定深度和持续时间的电压骤降或骤降。这是一个非常有用的标准，许多半导体行业的设备都在正式或非正式地使用它。符合SEMI F47认证的设备更可靠，生产效率更高。

SEMI F47认证的要求

SEMI F47认证要求半导体加工设备能够承受连接到其交流电源线上的电压骤降。它们必须能够承受长达200毫秒的跌落至设备标称电压的50%，跌落至70%的持续时间长达0.5秒，以及跌落至80%的持续时间长达1.0秒。

SEMI F47认证测试标准包括
SEMI F47
IEC/EN 61000-4-11
IEC/EN 61000-4-34

SEMI F47认证测量能力
13个内部电压通道
6 个内部电流通道
3 个内部保护接地通道
3 +/- 600 V（交流或直流）外部输入
6 +/- 100 V（交流或直流）外部输入

SEMI F47认证办理

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